FIB-SEM
장비소개듀얼집속이온빔장치
Dual Beam Focused Ion Beam
Dual Beam FIB을 이용하여, 미세 부위를 원하는 형태로 etching(식각) 하고 고 해상도 image의 정보를 얻을 수 있습니다.
기술 소개
Dual Beam FIB는 FIB Column과 SEM Column이 함께 장착되어 있어, 단면 분석(Fine milling cross section)에 특화되어 개발된 장비입니다. FIB는 ion beam을 주사하여 미세 부위를 etching(식각) 할 수 있으며, SEM Column은 고해상도의 image 관찰이 가능합니다. FIB Column과 SEM Column이 Chamber 내부에 함께 장착되어 있기 때문에 etching과 동시에 image 관찰이 가능하여 분석에 소요되는 시간을 효과적으로 절약할 수 있습니다. 또한 In-situ 상태로 분석이 진행되어 관찰 부위에서 발생될 수 있는 오염을 예방할 수 있습니다.
기술 적용
Cross section image analysis, Cross section size analysis
장비
QRT FIB/TEM Portfolio Overview
FIB Specifications
Hydra FIB Specification
기술적용사례
Cross section – Imaging, Size analysis
Contact Point
담당자
FIB 분석문의
- • TEL.
- 031-546-7555
- • E-mail.
- kwonhyeong.lee@qrtkr.com