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AES
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오제전자분광기
Auger Electron Spectroscopy
시료 표면에 수~수십 eV의 특성 전자빔을 입사하여 방출된 Auger 전자를 측정함으로써 원소 성분 및 조성 분석법
분석 장비
Chip 표면 Al Pad 분석 사례
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AFM/SSRM/KPFM
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AFM (Atomic Force Microscopy)
캔틸레버(Cantilever)와 시료 표면 원자 간의 상호작용을 이용해 나노미터 수준의 표면 형상과 거칠기를 분석하는 기술
SSRM (Scanning Spreading Resistance Microscopy)
전도성 팁을 사용하여 반도체 소자 내부의 국부적인 저항 분포와 캐리어 농도를 2차원 매핑하는 분석법
KPFM (Kelvin Probe Force Microscopy)
팁과 시료 사이의 접촉 전위차(CPD)를 측정하여 표면의 일함수(Work Function) 및 전위 분포를 측정하는 분석법
분석 장비
AFM 분석 사례
LCD Panel Color Filter Cs형상 분석 사례
SSRM 분석 사례
Si IGBT doping profile 확인
KPFM 분석 사례
Potential 분포 확인. 손상된 머리카락은 negative charge분포를 보이며, 트리트먼트 후 positive charge로 변하는 것을 확인 함.
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ASTAR
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ASTAR
TEM을 이용한 결정 방위 위상 맵핑 분석법
연계 장비
TEM EBSD(ASTAR) 분석 사례
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Ion Milling
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단면 연마기
Cross-section Polisher 또는 Ion Milling
Ar ion beam 을 이용하여 시료의 단면을 가공하는 전처리분석법
연계 장비
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CP 적용 사례
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D-SIMS
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이차이온질량분석기
Dynamic Secondary Ion Mass Spectroscopy
이차이온의 질량을 검출하여 표면 및 깊이에 대한 극미량 성분 분석법
연계 장비
NPN Junction 농도분포 분석 사례
Blue LED Dopant 분포 분석 사례
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EBSD
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후방산란회절패터분석법
Electron Backscattered Diffraction
전자 빔이 시료에 조사되었을 때, 후방 산란 전자의 회절 형태 변화를 이용한 분석법
연계 장비
Plated Cu Film 표면 EBSD 분석 사례
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TOF-SIMS
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비행시간형 이차이온질량분석기
Time of Flight SIMS
이차이온/이온Group의 질량에 따라 도착 시간의 차이를 이용하는 미량 성분 분석법
연계 장비
BGA 표면 변색 원인 분석 사례
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Nano-SIMS
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초미세이차이온질량분석기
일차이온빔을 50nm 이하로 집속 시켜 이차이온의 질량을 검출하는 극미량 성분 분석법
연계 장비
리튬이차전지 양극활물질 구조 분석 사례
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XPS
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X선 광전자 분광법
X-ray Photoelectron Spectroscopy
X-선 광선을 고체 표면에 방사하여 물질의 표면에서 발출되는 전자의 운동에너지를 분석하는 물질의 표면 화학 특성 분석법
연계 장비
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Film 내부 In-layer 분석 사례
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XRD
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X선 회절 분석법
X-ray Diffraction
특정 결정성 X-Ray를 입사 시킨 후 Bragg 법칙을 만족하여 회절 하는 특성을 활용한 결정구조 및 화합물 및 정량 분석법
연계 장비
Poly Si 박막 결정 방향 분석 사례
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XRR
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X선 반사율 분석법
X-ray Reflectometry
X선의 전체 외부 반사 효과를 이용한 표면 및 계면 분석법
연계 장비
ALD 증착 TiN 박막 막밀도 분석 사례
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