FIB Circuit edit
장비소개싱글집속이온빔 회로수정
Single Beam Focused Ion Beam
Single Beam FIB를 이용해, 반도체 Chip 내의 Metal 배선을 자르거나 연결하여 반도체 chip의 회로를 수정합니다.
기술 소개
FIB(Focused Ion Beam)는 ion beam을 주사하여 원하는 형태로 미세 부위를 etching(식각) 할 수 있으며, 텅스텐(W) 혹은 백금(Pt) 등의 금속성 물질이나 TMCTS 와 같은 비금속성 물질을 원하는 형태로 deposition(증착) 할 수 있습니다. FIB의 이러한 특징을 이용하여 반도체 chip의 회로 수정(Circuit edit) 작업을 진행할 수 있습니다. 공정상에서 회로 설계의 이상이 감지되면 회로를 물리적으로 수정해 주어야 하는데, 이때 FIB 회로 수정 기능을 이용하여 짧은 시간 내에 전기적 동작 특성을 검증할 수 있습니다. FIB 회로 수정 작업은 빠른 설계 검증을 통해 mask를 변경하는 것보다 시간적, 비용적 절감 효과를 얻을 수 있습니다.
기술 적용
Al metal Circuit edit, Cu metal Circuit edit, Backside circuit edit, Probing pad 제작
장비
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- 제작사/ 모델명
ThermoFisher / V400 ACE
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Feature
Description
Function
Circuit Modification (Cu, Al, Backside)
Column
Tomahawk, Ga liquid metal 1000 hour lifetime
Acceleration Voltage
0.5 kV - 30 kV
Image Resolution
4.5 nm
Beam Current
1.1 pA - 65 nA
Stage
5 axis all piezo motorized X, Y motion 100 mm
Nano Chemix Gas Delivery
𝑋𝑒𝐹2, TMCTS, 𝐻2𝑂, 𝑂2, W
End Point Detect
Simultaneous SE Specimen current auto scaled plots
기술적용사례
Circuit edit
Probing Pad 제작
Contact Point
담당자- • TEL.
- 031-546-7555
- • E-mail.
- sunghoo.park@qrtkr.com