TEM-sampling
장비소개듀얼집속이온빔장치
Dual Beam Focused Ion Beam
Dual beam FIB를 이용하여, TEM 분석을 하고자 하는 위치에 대해 수십 nm 두께 박막의 TEM 측정이 가능한 시편을 제작할 수 있습니다.
기술 소개
FIB는 ion beam을 주사하여 미세 부위를 etching(식각) 할 수 있으며, SEM Column은 고해상도의 image 관찰이 가능합니다. FIB의 etching을 이용하여 TEM 관찰을 하고자 하는 부위에 대해, 수직방향(Vertical) 및 수평방향(Plane)의 수십 nm 두께 박막의 시편을 제작할 수 있습니다. 또한, 저 가속 전압 ion beam을 이용하여 damage layer를 최소화하여 시편을 제작할 수 있습니다.
기술 적용
TEM-sampling (Vertical), TEM-sampling (Plane)
장비
QRT FIB/TEM Portfolio Overview
FIB Specifications
기술적용사례
TEM lamella prep – Vertical, Plane
TEM lamella prep Procedure
Contact Point
담당자
TEM sampling 문의
- • TEL.
- 031-546-7555
- • E-mail.
- kwonhyeong.lee@qrtkr.com