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Scanning acoustic tomography (SAT or SAM)는 가청 주파수 이외의 주파수를 갖는 초음파의 물리적인 성질을 이용하여 전자 부품 내부의 결함, 즉 깨짐, 박리 현상의 위치 및 크기와 내부 chip의 크기 측정을 할 수 있는 비파괴 분석 장비입니다. 탐촉자에서 발생한 초음파는 소재 내부로 침투되어 진행하며 초음파의 진행 경로상에 결함이 존재할 경우 그 결함에 의해 초음파는 반사되어 되돌아오게 되므로 그 음파를 감지하여 초음파가 진행한 거리만큼 탐상기의 화면에 펄스 신호가 나타나게 됩니다. 이때 CRT화면에 나타난 신호의 위치와 크기를 읽어 결함에 대한 크기와 위치를 평가하는 검사 방법입니다.

Non-destructive Failure Analysis, Reveals hidden defects such as: de-laminations, cracks and voids, Die Size Measurement