試験分析および装備活用支援

回路修正サービス

FIB 設備を用いて回路設計および工程上の間違いを修正するための回路修正サービスを提供します。

FIBサービス

  • 微細断面切断
  • 酸化膜除去
  • 金属膜除去
  • Platinum 蒸着

サービス適用事例

  • Circuit Edit (Cutting, Deposition)
  • Advanced Cross Section 分析
  • 微細回路 Probe Pad 製作

FIB回路修正事例

  • Probe Pad Deposition
    Probe Pad 蒸着
  • Platinum Deposition
    Platinum 蒸着
  • Deposition Profile
    蒸着 Profile
  • Precision Cross Section
    Precision Cross Section
  • Enlarged View
    Enlarged View
  • Cutting & Platinum Deposition
    Cutting & Platinum 蒸着